一、探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
 

　　二、特性：
 

　　1、OTS-最近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。
 

　　2、QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。
 

　　三、縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。
 

 

　　四、半自動探針臺特點：
 

　　機械手臂取放片
 

　　電動、鍵入坐標尋位置
 

　　量測尺寸(mm)：1800x1600、1300x1200、1200x1000
 

　　LCD手動探針臺
 

　　白熾燈或者LED整面背光
 

　　TFT元件特性、DriverIC量測分析
 

　　機臺尺寸(mm)：800x600、500x400、300x300